Osadzanie warstw ITO metodą magnetronowego rozpylania z targetów kompozytowych z warstwami Sn+In2O3 natryskiwanymi metodą niskociśnieniowego natryskiwania

Marcin G Winnicki, Małgorzata J Rutkowska-Gorczyca, Agnieszka Baszczuk, Aleksandra M Małachowska, Witold Posadowski, Zbigniew Znamirowski, Andrzej Ambroziak

2016

Rodzaj

rozpylanie magnetronowe natryskiwanie zimnym gazem powłoki kompozytowe cienka warstwa