Osadzanie warstw ITO metodą magnetronowego rozpylania z targetów kompozytowych z warstwami Sn+In2O3 natryskiwanymi metodą niskociśnieniowego natryskiwania

Marcin G. Winnicki, Małgorzata J. Rutkowska-Gorczyca, Agnieszka Baszczuk, Aleksandra M. Małachowska, Witold Posadowski, Zbigniew Znamirowski, Andrzej Ambroziak

2016

Rodzaj

Rozpylanie Magnetronowe Natryskiwanie Zimnym Gazem Powłoki Kompozytowe Cienka Warstwa